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应用案例
气体流量控制器
量程款,测量流速范围广,可带流量控制功能。
概 述
F400系列采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量测量和控制。可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
特 点
◎模拟式热质式流量计/流量控制器
      -低单价                            
      -环境温度补正
      -可应用的流速范围广:
      -0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
      -0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
◎高精度
      ±1%(≤15SLM)
      ±1.5%(>15SLM)
◎可选用LF系列控制模块,具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
典型应用    
空气、氮气、氩气、氧气、氦气、二氧化碳等。
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